據(jù)南方財富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，極紫外光刻上市公司有：
大恒科技：11月13日收盤消息，大恒科技最新報15.790元，成交量1119.32萬手，總市值為68.97億元。
回顧近30個交易日，大恒科技上漲10.58%，最高價為17.5元，總成交量7.02億手。
2013年年報披露，國家科委立項(xiàng)的"基于飛秒激光的太赫茲光譜儀"和"軟X射線/極紫外無諧波光柵單色儀"2014年均已進(jìn)入了產(chǎn)品的研發(fā)階段，進(jìn)度符合計劃。
藍(lán)英裝備：11月13日，藍(lán)英裝備(300293)下午3點(diǎn)收盤報21.970元，當(dāng)日最低達(dá)21.83元，成交額1.08億元，5日內(nèi)股價下跌3.78%。
回顧近30個交易日，藍(lán)英裝備股價下跌22.89%，最高價為29元，當(dāng)前市值為74.35億元。
公司瑞士子公司UCMAG主要為光學(xué)和精密儀器行業(yè)提供清洗設(shè)備，UCMAG為ASML及其供應(yīng)商提供極紫外光刻機(jī)（EUV）的光學(xué)系統(tǒng)相關(guān)關(guān)鍵部件的清洗設(shè)備。
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